Montag, 6. Juni 2016

Workshop zum Thema "Fundamentals of Sputter Deposition"

Am 2.6. hat Prof. Ivan Petrov für Mitglieder des SFB-TR 87 einen Workshop zum Thema "Fundamentals of Sputter Deposition; Control of Micro- and Nanostructure Evolution" an der RWTH Aachen angeboten.
Inhaltlich umfasste der Workshop die Themen Kathodenzerstäubung, die Theorie von Gasen und Plasmaphysik, Sputterausbeute, Sputtersysteme, Grundlagen von Keimbildung und Wachstum, Kontrolle von Mikrostrukturentwicklungen während der Sputterabscheidung und selbstorganisierte Nanostrukturbildung. Petrov ist außerordentlicher Professor am Department of Physics, Chemistry and Biology (IFM) der Linköping University in Schweden.



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