SFB-TR87-Blockvorlesung: Plasmatechnik in der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik

Der Sonderforschungsbereich-Transregio 87 "Gepulste Hochleistungsplasmen zur Synthese nanostrukturierter Funktionsschichten" bie­tet die Blo­ck­vor­le­sung „Plas­ma­tech­nik in der Halb­lei­ter- und Mi­kro­sys­tem­tech­nik“ von Dr. Micha­el Klick an. Die Stu­die­ren­den sol­len die theo­re­ti­schen und die prak­ti­schen As­pek­te der An­wen­dung der Plas­ma­tech­nik in der Halb­lei­ter- und Mi­kro­sys­tem­tech­nik ken­nen ler­nen.
Die ein­wö­chi­ge Ver­an­stal­tung be­ginnt am Mon­tag, den 18.​07.​2011 um 13:00 Uhr im Raum ID 03/401.
Für eine Teilnahme bittet der Lehr­stuhl für Theo­re­ti­sche Elek­tro­tech­nik um eine kurze Anmeldung (Name, ggfs. Matrikelnummer und e-mail-Adresse) bei Frau Konhäuser (elke.konhaeuser@tet.rub.de).
Diese Veranstaltung findet in Kooperation mit dem Research Department "Plasmas with Complex Interactions" statt.