Das 1. Treffen des Arbeitskreises (AK) Diagnostik & Analytik hat am 21.01.2011 in den Räumlichkeiten des Instituts für Oberflächentechnik (IOT) der RWTH Aachen stattgefunden. Auf diesem Treffen wurden die im SFB-TR 87 vorhandenen Analytiken moderiert vom Sprecher des AKs Dr.-Ing. Nazlim Bagcivan vorgestellt. Die am SFB-TR 87 beteiligten Institute können eine Vielzahl von Methoden vorweisen, die es ermöglichen, das Forschungsziel des Vorhabens zu erfüllen. Im Bereich der Plasmadiagnostik ist es beispielsweise mit absolut kalibrierter optischer Emissionsspektroskopie (OES), Absorptionsspektroskopie, Plasma-Absorptionssonde oder phasenaufgelöster OES (PROES) möglich, Plasmaparameter in gepulsten Hochleistungsplasmen orts- und zeitaufgelöst zu bestimmen. Die Schichteigenschaften, die mit Hilfe diesen Plasmen erzielt werden, können z.B. mit Transmissionselektronenmikroskopie (TEM), Infrarot Reflexions-Absorptions-Spektroskopie (IRRAS), Elektronenmikrostrahlanalyse (ESMA), Fourier-Transformations Infrarotspektroskopie (FTIR), Auger-Elektronen-Spektroskopie (AES) und in-situ Messverfahren zur zeit- und ortsaufgelösten Bestimmung von Schichtspannungen im Beschichtungsprozess untersucht werden. Zur Analyse von Systemeigenschaften stehen beispielsweise modernste Ultrahochvakuum (UHV) Verfahren zur Untersuchung von Anhaftung von Polymerschmelze auf beschichteten Oberflächen zur Verfügung. Abschließend wurden Kooperationen und erste gemeinsame Messkampagnen vereinbart.
